甩膠噴霧熱分解方法制備BaTiO-,3-薄膜及其介電性能研究.pdf_第1頁
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1、北京化工大學碩士學位論文甩膠噴霧熱分解方法制備BaTiO薄膜及其介電性能研究姓名：王芳平申請學位級別：碩士專業(yè)：材料科學與工程指導教師：武光明20100603摘要貌都有一定的影響，制備薄膜的最佳條件：襯底溫度150℃，噴嘴距離為20mm，載氣流量為1L／min，退火溫度700℃，升溫速度5／min，保溫60rain，轉(zhuǎn)速4000r／min。經(jīng)過700。C熱處理，薄膜在1KHz頻率，293K溫度測試條件下，相對介電常數(shù)為198，并且介電常

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