基于MEMS技術(shù)的微型電源的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著MEMS技術(shù)的迅速發(fā)展，人們制造出許多的MEMS器件，但是如何給MEMS器件提供電能成為目前亟待解決的問題。因?yàn)閭鹘y(tǒng)的電源結(jié)構(gòu)尺寸大、使用壽命短、難以集成到MEMS器件中，所以對于結(jié)構(gòu)微型化、使用壽命長的電源的研究開發(fā)是很有必要的。 本文來源于單兵生命參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)項(xiàng)目，圍繞基于MEMS技術(shù)的壓電式微型振動(dòng)發(fā)電裝置展開研究。首先分析了器件的工作原理：即利用PZT壓電材料的壓電效應(yīng)，將振動(dòng)環(huán)境中的機(jī)械能轉(zhuǎn)化為電能，為MEMS器件

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