基于MEMS的微型ICP光譜激發(fā)源研究.pdf

1、光譜儀是對(duì)物質(zhì)成分進(jìn)行檢測(cè)的重要設(shè)備之一。微型化、集成化是光譜儀器發(fā)展的重要趨勢(shì)之一。ICP（Inductively Coupled Plasma）激發(fā)源是光譜儀的重要功能部件。在光譜儀的微型化進(jìn)程中，關(guān)于分光、檢測(cè)系統(tǒng)微型化的的研究報(bào)道較多。而關(guān)于微型激發(fā)源的研究報(bào)道僅有美國(guó)東北大學(xué)一家。激發(fā)源微型化已成為光譜儀微型化發(fā)展中的瓶頸，因此，追蹤國(guó)外最新研究、對(duì)微型光譜激發(fā)源的研究開(kāi)發(fā)是迫切的、適時(shí)的。
　　本文簡(jiǎn)要敘述了MEMS（

2、Micro Electro Mechanical System）技術(shù)的現(xiàn)狀和特點(diǎn)，論述了MEMS技術(shù)在制造微型ICP激發(fā)源方面的優(yōu)勢(shì)?；贛EMS技術(shù)的微型ICP激發(fā)源，使用平面螺旋線圈來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)ICP中的三維螺旋線圈，同時(shí)采用了平面結(jié)構(gòu)的交指諧振電容器和阻抗匹配電容器。其功耗、氬氣消耗量、體積、重量?jī)H為常壓普通ICP激發(fā)源的數(shù)百分之一，且便于批量化生產(chǎn)、成本低。
　　本研究研制了一種平面結(jié)構(gòu)微型ICP激發(fā)源。對(duì)其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工工