基于磁控濺射技術(shù)的AT切石英晶體諧振器調(diào)頻工藝研究.pdf

1、石英晶體諧振器作為振蕩器的核心元件,在時(shí)間與頻率計(jì)量、通信、遙測(cè)遙控、全球定位技術(shù)等電子儀器設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。隨著電子設(shè)備對(duì)高精度、高穩(wěn)定度石英晶體諧振器需求量的上升,當(dāng)前以真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)作為主流工藝的石英晶體諧振器電極制備技術(shù)由于電極薄膜與晶片結(jié)合力不強(qiáng),臺(tái)階覆蓋能力較弱,精度控制較為困難,工藝復(fù)雜度較高等原因,在制備高精度和高穩(wěn)定度石英晶體諧振器方面存在工藝瓶頸。隨著磁控濺射技術(shù)尤其是濺射電源的發(fā)展,將磁控濺射鍍膜技術(shù)應(yīng)用于高精

2、度和高穩(wěn)定度石英晶體諧振器電極制備和頻率微調(diào)工藝中成為可能,其工藝優(yōu)勢(shì)可彌補(bǔ)真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)在石英晶體諧振器電極制備工藝中存在的不足。本文提出了將雙靶脈沖式非平衡磁控濺射技術(shù)應(yīng)用于10MHzAT切石英晶體諧振器電極制備和頻率微調(diào)工藝的研究方案,并基于FPGA設(shè)計(jì)了等精度頻率采集電路來(lái)監(jiān)測(cè)微調(diào)工藝中石英晶體諧振器的諧振頻率。論文簡(jiǎn)要介紹了石英晶體諧振器電極制備和頻率微調(diào)工藝技術(shù),重點(diǎn)就磁控濺射鍍膜工藝原理以及論文的實(shí)驗(yàn)方案進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。

3、通過(guò)相關(guān)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)比對(duì),分析了磁控濺射工藝參數(shù)同Ag電極薄膜沉積速率以及薄膜晶體結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系；結(jié)合經(jīng)驗(yàn)參數(shù)和理論分析,確定了10MHzAT切石英晶體諧振器電極尺寸并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了頻率粗調(diào)和頻率微調(diào)實(shí)驗(yàn),制備出頻率偏差在±10ppm以內(nèi)的10MHzAT切石英晶體諧振器樣品；本文設(shè)計(jì)的應(yīng)用于石英晶體諧振器頻率微調(diào)工藝的等精度頻率采集電路響應(yīng)速度快,測(cè)頻精度高,在閘門時(shí)間為0.01s時(shí)最高頻率偏差僅為2×10-6?？傮w實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,雙靶脈沖