納米ZnO氣敏元件對(duì)氣體的識(shí)別研究.pdf

1、ZnO是世界上應(yīng)用較早的氣敏材料，本課題的主要研究?jī)?nèi)容是以純ZnO納米線以及Ni、Al、Ag、 Cr2O3摻雜ZnO納米線構(gòu)造氣敏元件陣列，對(duì)氣體進(jìn)行種類的判別和濃度的判定。 本課題首先研究了純ZnO納米線以及Ni、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線對(duì)一氧化碳、氫氣、氨氣、乙醇以及甲烷氣體的氣敏性能，利用測(cè)試結(jié)果，建立相關(guān)氣體的標(biāo)準(zhǔn)樣本庫(kù)，采用最近鄰域法對(duì)氣體進(jìn)行種類判別；其次研究了純ZnO納米線和Ni、Al、Ag、Cr2O

2、3摻雜ZnO納米線氣敏性能與一氧化碳、氫氣濃度的關(guān)系規(guī)律，以研究出的關(guān)系規(guī)律為基礎(chǔ)，對(duì)一氧化碳和氫氣進(jìn)行初步的濃度判定。 本課題研究獲得的主要結(jié)果如下： 1.利用純ZnO納米線以及Ni、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線氣敏元件構(gòu)建氣敏元件陣列，對(duì)一氧化碳、氫氣、氨氣、乙醇以及甲烷氣體氣敏性能的檢測(cè)結(jié)果，建立針對(duì)樣氣的標(biāo)準(zhǔn)樣本庫(kù)，利用最近鄰域法可對(duì)樣氣進(jìn)行種類判別，且精度較高。 2.研究純ZnO納米線以及Ni

3、、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線與一氧化碳、氫氣氣體濃度的關(guān)系規(guī)律發(fā)現(xiàn)，在同一測(cè)試氣體濃度下，Ni、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線氣敏元件性能優(yōu)于純ZnO納米線氣敏元件的性能；在整個(gè)測(cè)試濃度范圍內(nèi)，純ZnO納米線和Ni、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線氣敏元件性能隨氣體濃度呈現(xiàn)出先上升后下降的變化趨勢(shì)。 3.繪制了純ZnO納米線以及Ni、Al、Ag、Cr2O3摻雜ZnO納米線元件氣敏性能與一氧化碳、氫氣濃度