采用新型分子篩敏感材料的諧振式氣敏傳感器.pdf

1、該文研究了三種質(zhì)量敏感基質(zhì)傳感器,分別為體硅加工技術(shù)制作的PZT微懸臂梁和激光激振的微懸臂梁以及QCM諧振式質(zhì)量敏感傳感器.首次采用對(duì)氟利昂有高度選擇性的MFI分子篩氣敏材料和新型的PZT諧振式微懸臂梁基質(zhì)傳感器相結(jié)合,成功地獲得高靈敏度、高選擇性的氟利晚氣敏傳感器.結(jié)果表明在較低濃度下(10ppm)對(duì)氟利昂氣體具有較好的響應(yīng),最低可以探測(cè)到3.5×10<'-9>g氟利昂氣體的吸附量,對(duì)氟利昂的靈敏度達(dá)到-0.0024％/ppm,而對(duì)乙

2、醇?xì)怏w無(wú)響應(yīng),具有比較好的選擇性,同時(shí)實(shí)驗(yàn)結(jié)果還表明該傳感器具有較好的重復(fù)性和可逆性.為了進(jìn)一步研究和驗(yàn)證分子篩這樣一種新型的敏感材料的敏感性和選擇性,該文還將Ag<'+>ZSM-5納米分子篩和QCM結(jié)合,研究了對(duì)丙酮?dú)怏w的響應(yīng).結(jié)果表明對(duì)不同濃度的丙酮?dú)怏w該傳感器具有良好的頻率響應(yīng),在丙酮?dú)怏w濃度為15ppm的時(shí)候仍然具有良好的響應(yīng),并有望測(cè)量到更低的丙酮?dú)怏w濃度;對(duì)丙酮?dú)怏w的探測(cè)靈敏度為每ppm/0.5Hz;對(duì)該傳感器的選擇性研究結(jié)