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文檔簡介
1、本文通過對實驗室已有的掃描探針顯微鏡(SPM)儀器系統(tǒng)一些缺點的分析，提出了基于德州儀器公司的TMS320C6713DSP的新型SPM系統(tǒng)硬件設(shè)計方案，并且已經(jīng)實現(xiàn)該硬件系統(tǒng)，也通過該系統(tǒng)初步完成了接觸式AFM模式的閉環(huán)掃描。 整個系統(tǒng)由DSP主控板、A/D板、D/A板、高壓放大板、多功能信號處理板和電源系統(tǒng)組成，采用總線式結(jié)構(gòu)，并且每塊功能板上面的I/O控制邏輯都采用CPLD芯片實現(xiàn)。每個部分在設(shè)計時都充分考慮到將來升級和增加
2、功能的需要，在保證系統(tǒng)可靠性的同時，盡量采用高性能高精度的芯片。 系統(tǒng)主控板以DSP為基礎(chǔ)，外部擴展了一片RAM和一片F(xiàn)LASH，并通過USB2.0接口與上位機通信，USB接口芯片采用CYPRESS公司的CY7C68013。RAM、FLASH、USB接口以及其他各個功能板的地址分別都映射到DSP的CE0～CE3空間。 為提高儀器精度，A/D板和D/A板分別采用16位高性能A/D以及D/A芯片重新設(shè)計。電源的低壓供電部分也
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