VO-,2-薄膜材料制備及其性能測試.pdf

1、二氧化釩是一種具有特殊相變性能的功能材料.隨著溫度的變化,二氧化釩會發(fā)生從半導(dǎo)體態(tài)到金屬態(tài)的可逆變化,同時,電阻率和光譜透射率等物理性質(zhì)也發(fā)生突變,其相變點在68℃附近,接近室溫.二氧化釩的應(yīng)用非常廣泛.目前主要用在熱探測儀或夜視儀的紅外焦平面上,西方國家已經(jīng)有產(chǎn)品,并在軍隊中廣泛使用.此外利用其光學(xué)相變性能,二氧化釩薄膜相變光開關(guān)以其納秒級的開關(guān)時間,將成為全光通訊的理想選擇之一;二氧化釩薄膜還應(yīng)用在抗激光輻射上,對現(xiàn)代戰(zhàn)爭中的衛(wèi)星探

2、測窗口的防護意義重大,國外已經(jīng)有相關(guān)報道.國內(nèi)二氧化釩的研究應(yīng)用還處于較低的水平,關(guān)鍵的原因是二氧化釩薄膜的制備難度較高,測試較復(fù)雜.本文主要研究了反應(yīng)濺射制備二氧化釩薄膜的工藝方法,分析了各個控制參數(shù)對薄膜質(zhì)量的影響,并給出了工藝參數(shù).反應(yīng)濺射中O<,2>和Ar的分壓比,熱處理中的加熱溫度是影響薄膜成分和質(zhì)量的最關(guān)鍵因素.薄膜質(zhì)量是通過其相變性能測試來確定的.四探針法測量了薄膜電性能,薄膜電阻率平均變化達到10<'3>,比理論上只相差