基于納米材料的濕度傳感器的研究.pdf

1、本文在綜述了多孔硅(PS)、氧化鋅(ZnO)和氧化鋁(Al_2O_3)三種材料在傳感器領域的研究現(xiàn)狀的基礎上，用經(jīng)過KOH溶液處理的PS、納米ZnO和納米多孔Al_2O_3作感濕材料，制作新型濕度傳感器，并用LCR測量儀研究了它們的濕敏性能。這些研究為制作滿足市場需求的濕度傳感器奠定了基礎。實驗中所用的納米ZnO用水熱法制得。研究發(fā)現(xiàn)，涂布法制得的薄膜型納米ZnO濕度傳感器，在相對濕度12～97％RH范圍內有線性度很好的阻濕關系，響應速

2、度快，但是濕滯回差大。經(jīng)分析認為其阻抗主要由電容決定，屬于電容型濕度傳感器。并且其濕敏性能與膜厚有關。另外還研究了燒結型納米ZnO濕度傳感器，通過比較發(fā)現(xiàn)，其濕敏性能優(yōu)于普通ZnO，并且它的阻抗主要由電阻決定，屬于電阻型濕度傳感器。實驗中所用的納米多孔Al_2O_3用陽極氧化法制得。研究發(fā)現(xiàn)，用納米多孔Al_2O_3制作的濕度傳感器，在相對濕度33～97％RH范圍內有線性度很好的LgZ—％RH和LgC-％RH關系，并且響應速度快，濕滯回