光刻機軟件自動化測試工具的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、光刻機是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心裝備，制造和維護光刻機需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)。作為集成電路生產(chǎn)工藝中最重要的一環(huán)光刻，它的靈魂裝備光刻機，結(jié)合了當今諸多現(xiàn)代科技于一身。如果把光刻機比作一個人，光刻機軟件就是這個人的大腦，光刻機的實際應(yīng)用情況，決定了光刻機軟件的復(fù)雜度和精密度要度遠遠超過普通應(yīng)用軟件，要保證這個大腦的可靠性，保證光刻機軟件的正常運行，不僅僅需要開發(fā)人員的努力，大量的軟件測試也是必不可少的。
　　本文的目標是設(shè)計

2、并實現(xiàn)了一個針對現(xiàn)階段國產(chǎn)先進封裝光刻機軟件開發(fā)過程的自動化測試工具，它實現(xiàn)了在一般操作環(huán)境上測試運行在SUN平臺和vxWorks平臺上的光刻機軟件，并幫助實現(xiàn)自動化測試過程，提高了工作效率。此套自動化測試工具實現(xiàn)后，在實際的工作中也得到了比較好的應(yīng)用。
　　首先論文介紹了光刻技術(shù)的基本原理，之后闡述了軟件自動化測試的優(yōu)勢，之后論文對軟件自動化測試在國內(nèi)和國外的現(xiàn)狀進行了分析，并簡單介紹了軟件自動化測試的過程，之后對現(xiàn)有市場上的一

3、些商用自動化測試工具進行了調(diào)研，在此基礎(chǔ)上，認為自主開發(fā)一套能夠適合現(xiàn)有光刻機軟件系統(tǒng)開發(fā)過程的自動化測試工具，是最合適目前的現(xiàn)狀的。
　　在工具開發(fā)前，論文介紹了現(xiàn)階段最新國產(chǎn)先進封裝光刻機的整機軟件構(gòu)造，展現(xiàn)了光刻機整機軟件的系統(tǒng)架構(gòu)和系統(tǒng)范圍，在此基礎(chǔ)上，描述了光刻機軟件的主要業(yè)務(wù)和功能需求，并分析了在實際生產(chǎn)過程中，光刻機軟件的主要運行參數(shù)。
　　經(jīng)過以上的分析，本論文就進入測試工具設(shè)計需求階段，描述了軟件的設(shè)計背景

4、，并對自動化測試工具所要實現(xiàn)的軟件需求進行了一個概述，提出了自動化測試工具的總體設(shè)計目標和思路，在此基礎(chǔ)上，將自動化測試工具分解為測試驅(qū)動模塊、測試公共庫模塊、代碼生成模塊、數(shù)據(jù)服務(wù)模塊幾大部分，分別實現(xiàn)通用測試驅(qū)動、底層的公共的測試接口庫、代碼生成、數(shù)據(jù)服務(wù)等功能。
　　在工具的具體實現(xiàn)階段，論文介紹了整體自動化測試框架的選擇，描述了需求中提到的各個模塊的設(shè)計與開發(fā)，著重描寫了測試公共接口庫模塊所使用的技術(shù)特點、通訊機制以及錯誤