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文檔簡介
1、光刻機是光刻工藝中最重要的設(shè)備,是諸多現(xiàn)代科技高度集成的產(chǎn)物,這些技術(shù)包括:物理、光學、化學、材料科學、精密機械、精密控制、工程學、軟件工程學、計算機科學等等。光刻機的軟件部分作為光刻機的靈魂,其復(fù)雜程度遠遠超過一般應(yīng)用軟件。要保證光刻機軟件可靠運行就必須經(jīng)過大量的軟件測試。本文主要設(shè)計和實現(xiàn)了一個基于光刻機軟件系統(tǒng)的自動化測試框架,是一種跨平臺的系統(tǒng)測試架構(gòu)體系,用于在windows平臺上測試位于其他各種平臺上運行的使用C/C++語言
2、編寫的接口函數(shù),并在光刻機軟件測試中取得了良好的應(yīng)用。
本文首先介紹了光刻機軟件的系統(tǒng)架構(gòu),并對光刻機軟件系統(tǒng)開發(fā)以及自動化軟件測試的國內(nèi)外現(xiàn)狀進行了說明。接著,闡述了自動化測試的原理以及自動化測試過程,并詳細分析了測試用例的設(shè)計原理和測試結(jié)果評估理論。之后,根據(jù)光刻機軟件系統(tǒng)的特點,對自動化測試框架進行了功能和性能的需求分析。在此基礎(chǔ)上完成了基于光刻機軟件系統(tǒng)的自動化測試框架的設(shè)計和實現(xiàn),包括了測試框架運行平臺和開發(fā)工具
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