激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相合成法制備硅基納米陶瓷粉.pdf

1、該論文針對激光氣相合成硅基納米微粉的性能與成本的矛盾,在對激光合成反應(yīng)物的研究分析基礎(chǔ)上,選擇廉價、無氯硫,對CO<,2>激光有強吸收、易于處理的有機硅烷反應(yīng)物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作為價格昂貴、難以處理的硅烷(SiH<,4>)的替代反應(yīng)物,進行了激光合成硅基納米粉的系統(tǒng)的實驗研究,包括反應(yīng)物的選取、反應(yīng)汽化裝置的詳細(xì)分析、粉體形成的工藝控制、表征性能及形成機制等.實驗表明,采用HMDS,通過對合成工藝和附加反應(yīng)氣(NH<,3>或H

2、<,2>)的控制,不僅可制備出粒度均勻、寬組份范圍的各種非晶Si-N-C和Si-N-C/SiC(C/N=0.19~3.52)納米復(fù)合粉(10~50nm),在一定條件下還可獲得非晶Si<,3>N<,4>(~96wt﹪)和β-SiC(~93wt﹪)納米粉體.通過對制粉反應(yīng)系統(tǒng)不同部位所收集到的粉體樣品進行觀測,發(fā)現(xiàn)并提出:由反應(yīng)合成室內(nèi)生成的納米微粒在隨氣體流向收集室的過程中存在著空間的團聚現(xiàn)象,指明了團聚現(xiàn)象發(fā)生的原因.進行了反應(yīng)合成室激