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文檔簡介
1、本文將脈沖激光液相燒蝕法和物質(zhì)的相分離相結(jié)合，提出一種制備圓盤狀納米結(jié)構的新方法，成功制備出硅納米圓盤和碳化硅納米圓盤，并對納米圓盤的形成機制做了相關研究，主要內(nèi)容如下： (1)利用脈沖激光液相輻照SiO粉末在去離子水中的懸浮液，研究了SiO在激光引起的極端非平衡條件下的相分離過程，成功制備出硅納米圓盤； (2)通過改變液相介質(zhì)、激光脈寬、激光輻照時間和固相原料以及快速退火SiO粉等對比實驗，確定了Si納米圓盤是通過激光
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