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1、本文旨在應(yīng)用激光干涉技術(shù)研究激光干涉光刻誘導(dǎo)化學(xué)沉積和激光干涉光刻直寫制備微/納米級(jí)金屬柵極。首先，針對(duì)電池表面光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化仿真設(shè)計(jì)，發(fā)現(xiàn)柵極特征尺寸為500nm時(shí)，光柵電極總功率損耗最低。其次，基于激光干涉的基本原理，利用Matlab軟件，針對(duì)1064nm和266nm波長(zhǎng)激光進(jìn)行計(jì)算機(jī)仿真，獲得了條紋陣列結(jié)構(gòu)，發(fā)現(xiàn)不同激光入射角度時(shí)，可以獲得不同周期和柵極特征尺寸的柵極。最后，針對(duì)理論計(jì)算和模擬結(jié)果，運(yùn)用激光干涉光刻誘導(dǎo)化學(xué)沉積技
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