微機(jī)械氣流式全方位水平姿態(tài)傳感器的研究.pdf

1、微機(jī)械氣流式全方化水平姿態(tài)傳感器是將微機(jī)械技術(shù)和“氣體擺”理論融合在一起，它不僅解決了現(xiàn)有的全方位氣流式水平姿態(tài)傳感器體積過大、一致性差、不能大批量生產(chǎn)的問題，同時(shí)還能使微機(jī)械水平姿態(tài)傳感器敏感水平面內(nèi)任一方位的傾斜角度。
　　 本文首先針對微機(jī)械氣流式全方位傾角敏感元件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了有限元計(jì)算，利用ANSYS-FLOTRAN CFD軟件，建立了全方位敏感元件的三維有限元模型。采用有限元方法，分別計(jì)算了在不同傾斜狀態(tài)、不同環(huán)境溫度

2、和不同的檢測熱敏電阻排列方式下敏感元件內(nèi)的溫度場和流場，進(jìn)而揭示了該傳感器的敏感機(jī)理，以及環(huán)境溫度和檢測熱敏電阻的排列方式對傳感器靈敏度的影響機(jī)理。
　　 隨后，對傳感器的信號處理電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)。該信號處理電路主要包括目前置信號處理電路和數(shù)字補(bǔ)償電路兩部分。其中，前置信號處理電路包括對原始信號的測量、放大和濾波：數(shù)字電路設(shè)計(jì)部分，引入單片機(jī)，采用數(shù)字補(bǔ)償方式。
　　 最后，通過單片機(jī)對傳感器進(jìn)行了全方位傾角信號的合成及相