微機械氣流式水平姿態(tài)傳感器的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩55頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、北京信息科技大學(xué)碩士學(xué)位論文微機械氣流式水平姿態(tài)傳感器的研究姓名：劉玉潔申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：樸林華20081201ABSTRACTABSTRACTThemicromachinedairflowlevelposturesensorwhichisdevelopedbyusingthependulumcharacteristicoffreeconvectiongaswithinclosedcavityBeca

2、useofthegassensitiveelement，ithasthecharacteristicofbearingthehighoverload，shortresponsetimeThiskindofsensors，whichcaninspectobliquityandacceleration，Canbeusedinmanydomains，suchascars，robots，helmets，communications，consum

3、edelectron，andtoysetcInthispaperthestructureofmicromachinedairflowtiltanglesenseorganiscomputedwithfiniteelementmethod，usingthesoftwareofANSYSFLOTRANCFD，andthethreedimensionalfiniteelementmodelofsenseorganisbuiltWithfini

4、teelementmethod，thetemperaturefieldandflowfieldwithinsenseorganarecomputedrespectivelyindifferentinclinestatesThen，designthesignalprocessingcircuitoflevelposturesensorThecircuitconsistsofpre‘signalprocessingcircuitanddig

5、italcompensationcircuitBasedonthedesignofsignalprocessingcircuit，thesensorobtainscorrecttiltangleoutputusingsinglechipwithMSC1214technique，thesoftwarecompensationofthesensorisfinishedonthebasisoftherelationofoutputvoltag

6、eandtiltangleandthechangeofenvironmenttemperatureThe’compensmionconsistsofsensitivity—temperaturecompensation，zerotemperaturecompensationandlinearitycompensationAfterthecompensation，thesensitivitvtemperaturecoefficientde

7、clinesfrom23mV／o／℃tO502mY／o／℃，andtheoperatingtemperatureexpandsfromroomtemperatureto30℃30℃Duringthetemperaturerange，zerovoltagechangedeclinesfrom50206VtoS0O1Vandafterthelinearitycompensation，sensor’Snonlinearitydeclinesf

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論