氮中四氟化碳氣體標準物質(zhì)的研制.pdf

1、本文的主要工作是研制氮中四氟化碳標準氣體，填補我國在這一領域的空白，并探索應用電子天平配制標準氣體的新方法。
　　 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術等方面也有大量應用。而四氟化碳又是一種很重要的溫室氣體，在生產(chǎn)和使用過程中，通過擴散并釋放到大氣中，破壞臭氧層。四氟化碳氣體標準物質(zhì)是在溫室氣體監(jiān)測中進行化學量值傳遞的重要組成部

2、分，對我國環(huán)境科學及經(jīng)濟發(fā)展具有重要的意義。四氟化碳標準氣體還可以應用于三氟化氮、六氟化鎢等特種氣體分析檢測過程中，為提高特種氣體的純度，增強國際市場競爭力，提供計量基礎。
　　 本文采用稱量法制備氮中四氟化碳標準氣體。方法是向容器充入已知純度的一定量的氣體組分前后，分別稱量容器的質(zhì)量，由兩次稱量的差值來確定所充氣體的量。依次向容器充入原料氣和稀釋氣，從而配制成一種混合氣體。該氣體經(jīng)過氣相色譜法比對分析，均勻性和穩(wěn)定性測試，不確

3、定度評定。結(jié)果表明，配制的四氟化碳氣體組分濃度均勻、穩(wěn)定，標準混合氣定值準確，量值可靠，其主要技術指標如下，濃度范圍：5％～0.01％(mol/mo1)擴展不確定度U：≤2.0％；(k=2)，均勻性良好；穩(wěn)定時間：12個月；充氣壓力：10MPa；使用壓力下限：0.5Mpa。
　　 目前，我國稱量法配氣中主要采用傳統(tǒng)的懸臂式機械天平進行稱量，精度差，耗時長，本文探索和嘗試應用電子天平替代懸臂式機械天平作為質(zhì)量測量工具，配制標準氣體