關(guān)于CMOS圖像傳感器壞像素問題的研究.pdf

1、CMOS圖像傳感器具有高集成度、低功耗、低成本等優(yōu)勢，廣泛用于拍照手機、數(shù)碼相機、PC攝像頭、監(jiān)控系統(tǒng)、玩具、汽車電子和醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域，使之日益成為研究的熱點。壞像素是制約圖像質(zhì)量的關(guān)鍵要素之一，本文主要研究CMOS圖像傳感器制造工藝中的壞像素問題。
　　 本文從產(chǎn)品最終測試中發(fā)現(xiàn)的壞像素過多的實際問題入手，通過研究CMOS圖像傳感器的工藝和技術(shù)特點，以及CMOS圖像傳感器產(chǎn)品的檢測和評估方法等，并使用半導(dǎo)體制造工廠常用的分批實

2、驗的方法分析問題，找到了CMOS圖像傳感器產(chǎn)品壞像素過多問題的原因在于“PIN IMP”制程。本文進(jìn)一步對“PIN IMP”制程的離子注入設(shè)備和制造工藝進(jìn)行比較與分析，提出了通過修改“PIN IMP”制程的工藝順序來解決壞像素問題的方案，并通過試驗驗證了其方案的可靠性與可行性。最終使該CMOS圖像傳感器產(chǎn)品中壞像素的個數(shù)由500～600個減少到120個以內(nèi)。本文對提高微電子制造技術(shù)水平有積極意義，并且具有一定工業(yè)應(yīng)用價值。