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1、該文采用V<,2>O<,5>粉末靶離子束濺射,金屬釩離子束反應(yīng)濺射和金融釩離子束濺射三種方法制備了氧化釩材料,通過不同條件下的退火實驗.研究了不同工藝條件對氧化釩材料性質(zhì)的影響.得到了以下結(jié)果.對于V<,2>O<,5>粉末靶離子束濺射制備的樣品,濺射后的樣品表現(xiàn)為非晶態(tài),在不同氣氛（純氮氣,氮氫氣氛）下退火后,樣品由非晶態(tài)向多晶態(tài)轉(zhuǎn)變,一定條件下生成了B相的VO<,2>,同時晶粒也隨退火時間增加而長大.對于金屬釩離子束濺射制備的樣品,濺
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