用于PDP的Zn2+摻雜MgO薄膜制備與研究.pdf

1、相比液晶顯示器件（LCD），等離子顯示（PDP）具有寬視角、高亮度、全彩色、大尺寸、響應(yīng)速度快、色彩還原性好等優(yōu)點，在大尺寸（50''+）高端顯示市場中占據(jù)非常重要的地位。在PDP研究生產(chǎn)過程中，也存在著產(chǎn)品生產(chǎn)成本較高，發(fā)光效率低，中小尺寸PDP顯示器件無法滿足高清晰度和高分辨率的要求。解決以上問題需要從材料、制作工藝、后期面板結(jié)構(gòu)設(shè)計以及驅(qū)動電路設(shè)計等方面進行改良。在AC-PDP中，放電材料介質(zhì)保護層直接與放題采用溶膠-凝膠工藝制備

2、Zn2+摻雜MgO薄膜，并對其結(jié)構(gòu)與放電特性進行分析。主要實驗方案及相關(guān)結(jié)論如下：
　　1.采用硝酸鎂為鎂元素的前驅(qū)物，醋酸鋅作為摻雜材料的前驅(qū)物，無水乙醇作為溶劑，火棉膠作為表面活性劑，按照一定比例混合并攪拌均勻，靜置陳化制備成溶膠，通過旋轉(zhuǎn)涂覆鍍膜和高溫退火處理的方式，制備成Zn2+摻雜MgO薄膜，研究不同溶膠比例，不同退火溫度以及摻雜量改變條件下，薄膜的結(jié)晶情況、表面形貌、光電特性。
　　2.當(dāng)火棉膠與無水乙醇體積比為

3、3:7時，制備的溶膠比較穩(wěn)定，并且經(jīng)過成膜處理后，薄膜表面平整，致密性最好。薄膜在500℃時出現(xiàn)結(jié)晶態(tài)，隨著退火溫度的增加，薄膜（200）面擇優(yōu)取向比較明顯。進一步提高退火溫度時，在600℃時出現(xiàn)氧化鎂（220）面的衍射峰。通過對薄膜厚度的測試可知，經(jīng)過退火處理后，摻雜濃度對薄膜的厚度影響非常小，單次制備的薄膜厚度在25nm左右，工藝重復(fù)進行十次，制得的薄膜厚度在250nm左右；通過控制旋涂次數(shù)，可獲得所需厚度的薄膜樣品。對薄膜光學(xué)透過

4、率的分析可知，薄膜摻雜比例對透過率的影響較小，制備厚度約150nm的薄膜，可見光范圍內(nèi)平均透過率在85％以上；N2氛圍下的透過率高于空氣氛圍下退火得到的透過率。
　　3.研究制備了PDP模擬放電單元模塊，進行了氣體放電性能測試。不同摻雜比例的模擬放電單元具有不同的著火電壓，不同壓強下最小著火電壓多分布于摻雜比為10%的曲線上。在30torr氣體壓強下，混合氣體成分Xe（5%）+Ne（85%），摻雜比例為10%時，最低著火電壓與純凈