用于高速尋址PDP的六硼化鑭薄膜制備與放電特性研究.pdf

1、商用的等離子平板顯示器(PDP)擁有巨大的市場(chǎng)前景，但在全球性的節(jié)能減排和平板顯示設(shè)備激烈的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)背景下，現(xiàn)有的PDP顯示器相對(duì)于其他平板顯示設(shè)備的高功耗特性已經(jīng)制約了其發(fā)展速度。通過(guò)新材料的應(yīng)用來(lái)降低PDP顯示設(shè)備的功耗成為了眾多PDP生產(chǎn)廠商研究的焦點(diǎn)。
　　結(jié)合PDP顯示設(shè)備降低能耗的應(yīng)用要求，本文提出在PDP放電單元中引入新型六硼化鑭(LaB6)薄膜材料來(lái)降低PDP能耗的方法，并進(jìn)行了一系列探索性和創(chuàng)新性的研究工作。由于

2、該方法未見(jiàn)相關(guān)文獻(xiàn)報(bào)道，本文首先針對(duì)PDP顯示設(shè)備放電原理、氣體放電物理過(guò)程、LaB6材料性能等理論特性進(jìn)行系統(tǒng)的分析；再根據(jù)分析結(jié)果設(shè)計(jì)并制備了采用LaB6薄膜的PDP模擬放電單元；然后對(duì)采用LaB6薄膜的PDP模擬放電單元的放電性能進(jìn)行了測(cè)試與研究；最終證實(shí)了將LaB6薄膜用于降低PDP功耗的可行性。
　　本文的主要研究?jī)?nèi)容及結(jié)論包括：
　　1、從理論上研究了LaB6材料對(duì)PDP放電過(guò)程的影響，得出了低逸出功的LaB6材

3、料有利于降低PDP的著火電壓，由此降低PDP能耗的結(jié)論。
　　2、設(shè)計(jì)并制作了沉積LaB6薄膜的系統(tǒng)裝置，并結(jié)合PDP設(shè)備生產(chǎn)流程要求優(yōu)化了蒸發(fā)角度、真空度和襯底溫度等工藝參數(shù)，制備出了適用于PDP放電單元的LaB6薄膜；經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)及測(cè)試分析，證明蒸發(fā)角度為45?時(shí)，真空度為8×10-4Pa及襯底溫度為400℃時(shí)，制備得到的LaB6薄膜綜合性能最優(yōu)。
　　3、研究了LaB6薄膜的晶面取向、透光性能、導(dǎo)電性能和逸出功等薄膜性

4、質(zhì)。得出40nm厚度的LaB6薄膜通光性能良好，電阻值較高；制備得到的LaB6薄膜逸出功為2.6574eV，遠(yuǎn)低于MgO保護(hù)層逸出功。
　　4、設(shè)計(jì)了PDP模擬放電單元結(jié)構(gòu)，結(jié)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備改良了PDP面板封接工藝，并在此基礎(chǔ)上研究放電單元的制作與封接方法，最終制備出采用LaB6薄膜的PDP模擬放電單元樣品。
　　5、設(shè)計(jì)了PDP模擬放電單元的測(cè)試方法，并對(duì)比研究了采用不同放電材料(MgO薄膜、LaB6薄膜、LaB6/MgO復(fù)