基于綠色鍍膜技術(shù)制備金屬-SiO2i光衰減片研究.pdf

1、光衰減器是光纖通信中控制與平衡光功率的重要無源器件,在光纖通信系統(tǒng)中具有難以取代的位置,光衰減片是光衰減器的核心元件。本課題選用綠色鍍膜技術(shù)之一的真空蒸發(fā)鍍膜法制備金屬/SiO2光衰減片,該方法是適用性最強(qiáng)、應(yīng)用最廣泛、經(jīng)濟(jì)成本最低、綠色環(huán)保的最佳鍍金屬膜的鍍膜方法。綠色鍍膜技術(shù)是表面工程領(lǐng)域的新技術(shù),能很好地解決可持續(xù)發(fā)展與環(huán)境污染的矛盾,在應(yīng)用上有著傳統(tǒng)電鍍或化學(xué)鍍無法比擬的優(yōu)勢(shì)。使用綠色鍍膜技術(shù)制備光衰減片,可實(shí)現(xiàn)社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效

2、益的雙贏。
　　 本課題采用電阻式蒸發(fā)源DM-300B型真空鍍膜機(jī),保持真空度在1.3×10-2Pa以上,選擇不同的轟擊電壓、烘烤電壓、旋轉(zhuǎn)電壓等工藝參數(shù),制備鋁、銅、鉻、鎳/SiO2玻璃光衰減片。重點(diǎn)研究蒸鍍的轟擊電壓、烘烤電壓、旋轉(zhuǎn)電壓等工藝參數(shù)對(duì)光衰減片組織結(jié)構(gòu)及性能的影響。并利用原子能譜儀(EDS)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等手段,研究了工藝參數(shù)對(duì)衰減片的膜層成分、薄膜表面與剖面結(jié)構(gòu)的影響:利用7

3、21型分光度計(jì)測(cè)試并研究金屬類型及工藝參數(shù)對(duì)衰減片透光率性能影響。
　　 經(jīng)對(duì)光衰減片的組織結(jié)構(gòu)研究分析表明,采用真空蒸鍍法制備的金屬/SiO2光衰減片薄膜致密、連續(xù),納米級(jí)顆粒分布均勻,膜厚為微米級(jí),金屬與玻璃基片不是簡(jiǎn)單的物理吸附,而是化學(xué)吸附與物理接枝,形成了金屬/SiO2復(fù)合薄膜。
　　 通過對(duì)光衰減片的組織結(jié)構(gòu)與透光率性能的進(jìn)一步研究分析可知,鋁與鉻金屬是最好的鍍膜材料,蒸鍍的銅膜不透光,可與純玻璃片組合制備可