版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、THESTUDYoNRELIABILITYoFMICRoMECHANICALACCELERoMETERUNDERENVIRoNMENTALLoADADissertationSubmittedtoSoutheastUniversityFortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYLuChaoSupervisedbyProfTangJieyingandLecturerSongJing一一Departm
2、entofElectronicEngineeringSoutheastUniversityApril2010摘要隨著人們對MEMS產(chǎn)品的深入研究和開發(fā),越來越多的MEMS產(chǎn)品將走進(jìn)我們的日常生活中。而MEMS可靠性問題將是MEMS市場化的巨大瓶頸,它直接關(guān)系到產(chǎn)品的開發(fā)效率、成本和商業(yè)化進(jìn)程。目前國內(nèi)研究MEMS器件可靠性的理論并不多,國外理論可借鑒的又較少,所以非常有必要從實驗中分析總結(jié)MEMS可靠性理論并建立數(shù)學(xué)模型,為MEMS的可
3、靠性設(shè)計提供參考。2007年,配置了三軸微機(jī)械加速度計的iPhone手機(jī)的上市讓基于MEMS技術(shù)的加速度計大放異彩。國外對微機(jī)械加速度計的研究從上世紀(jì)80年代末就開始了,90年代初已有成熟的微加速度計產(chǎn)品,但國內(nèi)從近幾年才開始研制微機(jī)械加速度計,可靠性方面的理論和經(jīng)驗比較缺乏。對目前國內(nèi)研制的微機(jī)械加速度計產(chǎn)品調(diào)查顯示,這些產(chǎn)品很多都存在一些可靠性問題,如開機(jī)后輸出不穩(wěn)定、振動或沖擊下器件失效、長期工作或存放后輸出漂移等,嚴(yán)重影響了產(chǎn)品
4、的實際使用,阻礙了其市場化進(jìn)程。本文針對國內(nèi)研制的微機(jī)械加速度計存在的前兩個問題著重從實驗角度來發(fā)現(xiàn)和總結(jié)其原因,并用理論來分析實驗結(jié)果,建立簡單的數(shù)學(xué)模型。首先,本文介紹了微機(jī)械加速度計常見的一些失效模式和機(jī)理,了解了一些研究失效的方法和理論知識,為后面的研究奠定了基礎(chǔ);其次,為了更好的對微機(jī)械加速度計的可靠性進(jìn)行研究,需要對MEMS基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)可靠性有一定的了解,因此我們對微梁在沖擊下的可靠性進(jìn)行了實驗分析,并得到了幾點結(jié)論:(1)梁根
5、部所受應(yīng)力最大;(2)相同寬度的梁,短梁比長梁沖擊可靠性高;(3)相同長度的梁,寬梁比細(xì)梁沖擊可靠性高;(4)梁長度對粘附可靠性影響大;(5)沖擊對C型粘附解粘附作用明顯,對S型則不明顯,同時沖擊也會造成微梁粘附。同時本文提出了一些改進(jìn)微梁在沖擊下可靠性的建議;最后,先用MEMSCAP公司流片的梳齒結(jié)構(gòu)進(jìn)行加速度計開機(jī)輸出不穩(wěn)定現(xiàn)象的實驗研究,實驗包括靜態(tài)上電后電容變化、翻轉(zhuǎn)后電容變化、施加靜電力后電容變化、電容一溫度相關(guān)性實驗,通過對
6、實驗結(jié)果分析我們得到兩點結(jié)論:(1)機(jī)械結(jié)構(gòu)自身不會造成開機(jī)后輸出不穩(wěn)定;(2)機(jī)械結(jié)構(gòu)電容隨溫度變化而變化。然后用梳齒結(jié)構(gòu)和購買的ADI公司的ADXLl05微機(jī)械加速度計進(jìn)行沖擊下的可靠性實驗,發(fā)現(xiàn)在沖擊載荷下梳齒結(jié)構(gòu)首要的失效模式是粘附失效,而斷裂可靠性則較高。本文基于實驗結(jié)果建立了簡單的梳齒結(jié)構(gòu)粘附可靠性模型,并進(jìn)行了理論分析和計算,為微機(jī)械加速度計的可靠性設(shè)計提供了一定的參考依據(jù)。關(guān)鍵詞:MEMS,可靠性,微機(jī)械加速度計,微懸臂
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- MEMS加速度計在環(huán)境載荷下的可靠性研究.pdf
- 沖擊載荷下MEMS微加速度計的結(jié)構(gòu)可靠性研究.pdf
- MEMS加速度計封裝可靠性研究.pdf
- 電容式微機(jī)械加速度計的研究.pdf
- 硅微機(jī)械氣流式加速度計的研究.pdf
- 梳齒式微機(jī)械加速度計加工工藝研究.pdf
- 加速度計設(shè)計
- 電容式微機(jī)械加速度計處理電路研究.pdf
- 電容式微機(jī)械加速度計檢測電路研究.pdf
- 加速度計類型簡介
- colibrys加速度計選型
- 基于數(shù)字加速度計的智能倒置開關(guān)設(shè)計及其可靠性研究.pdf
- 微機(jī)械電容式加速度計的設(shè)計及制備.pdf
- colibrys加速度計選型表
- FBAR微加速度計設(shè)計.pdf
- 硅微機(jī)械加速度計零位偏移的影響因素研究.pdf
- 硅撓性伺服加速度計設(shè)計.pdf
- 用于微機(jī)械加速度計上蓋封裝的電鍍錫工藝研究.pdf
- 微機(jī)械電容式加速度計的系統(tǒng)分析.pdf
- 力平衡式三軸微機(jī)械加速度計的研究與設(shè)計.pdf
評論
0/150
提交評論