2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、基于MEMS技術(shù)的微機(jī)械加速度計(jì),與傳統(tǒng)的加速度計(jì)相比,具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢和廣闊的應(yīng)用前景。本文以三軸力平衡閉環(huán)微加速度計(jì)為研究對象,對其結(jié)構(gòu)和加工工藝進(jìn)行研究和設(shè)計(jì),具體包括以下幾方面: 1.對微加速度計(jì)的基礎(chǔ)理論和檢測原理進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。 2.根據(jù)設(shè)計(jì)任務(wù)和性能指標(biāo)要求,確定微加速度計(jì)的總體設(shè)計(jì)方案,并建立了參數(shù)化的結(jié)構(gòu)模型。在檢測原理上,微加速度計(jì)采用全差分電容檢測和靜電力閉環(huán)系統(tǒng),叉指電容與平板電容相結(jié)合,共同

2、實(shí)現(xiàn)對三個(gè)正交檢測軸向線加速度的檢測。在結(jié)構(gòu)上,加速度計(jì)采用玻璃-硅-玻璃“三明治”式總體結(jié)構(gòu),利用單一檢測質(zhì)量實(shí)現(xiàn)單芯片三軸集成。采用動(dòng)指和靜指不等厚度的叉指電容結(jié)構(gòu),有利于改善XOY平面內(nèi)敏感軸的靈敏度。在檢測質(zhì)量上刻蝕阻尼孔陣列,能夠改善加速度計(jì)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能。 3.根據(jù)力平衡式三軸微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)模型,對靈敏度、分辨率、工作量程等重要的加速度計(jì)特性進(jìn)行分析和計(jì)算,并進(jìn)一步探討了加速度計(jì)三軸靈敏度一致性優(yōu)化條件、敏感軸交叉耦

3、合的優(yōu)化條件以及加速度計(jì)系統(tǒng)的穩(wěn)定性條件。 4.有限元分析。利用ANSYS軟件對微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)分析、靜力分析、熱分析以及靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析,根據(jù)有限元分析結(jié)果,對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,實(shí)現(xiàn)優(yōu)化設(shè)計(jì)。 5.加工工藝的研究與設(shè)計(jì)。結(jié)合加速度計(jì)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和性能指標(biāo)要求,采用體微細(xì)加工技術(shù),制定相應(yīng)的工藝流程。整個(gè)工藝流程主要包括硅片工藝、玻璃工藝、組合工藝以及深度刻蝕與結(jié)構(gòu)釋放工藝四部分。采用ICP深刻蝕技術(shù)可以獲得大厚度的

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