三軸諧振式加速度計測控電路的設(shè)計.pdf

1、諧振式硅微機械加速度計是一種利用機械振動原理來測量對象加速度信息的微慣性傳感器。與傳統(tǒng)的加速度傳感器相比，諧振式加速度計具有抗電磁干擾能力強、輸出信號穩(wěn)定等突出優(yōu)點。目前，微機電加速度計有向多軸化發(fā)展的趨勢，出現(xiàn)了電容式、壓阻式、隧道電流式三軸加速度計。本論文探討了一種諧振式三軸加速度計的測量控制電路，核心部分包括諧振式三軸加速度計閉環(huán)控制電路設(shè)計以及頻率檢測電路的設(shè)計。論文的內(nèi)容主要包括以下幾個部分:
　　(1)闡述了國內(nèi)外微機

2、械加速度計以及相應(yīng)測控電路的發(fā)展歷史、未來發(fā)展方向，明確論文的目的和意義。
　　(2)介紹了諧振式加速度計基本原理，推導了理論公式，建立諧振式加速度計數(shù)學模型，明確設(shè)計的理論依據(jù)。
　　(3)設(shè)計三軸諧振式加速度計的閉環(huán)驅(qū)動控制電路，分析控制電路中信號提取、相位控制、幅度控制等關(guān)鍵技術(shù)，優(yōu)化系統(tǒng)，實現(xiàn)對加速度計穩(wěn)定控制。
　　(4)在分析比較三軸諧振式加速度計的頻率測量方法的基礎(chǔ)上，設(shè)計了基于FPGA的數(shù)字測頻法并制作