硅微諧振式加速度計(jì)驅(qū)動(dòng)電路優(yōu)化技術(shù)研究.pdf

1、硅微諧振式加速度計(jì)具有精度高、體積小、頻率輸出等突出優(yōu)點(diǎn)，在軍事領(lǐng)域和民事領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本文以提高硅微諧振式加速度計(jì)的整體性能為目標(biāo)，對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，提高了硅微諧振式加速度計(jì)的實(shí)用性和可靠性。
　　論文的主要研究工作以下:
　　(1)介紹了硅微諧振式加速度計(jì)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，并簡(jiǎn)述了幾種常用的驅(qū)動(dòng)方式。分析了硅微諧振式加速度計(jì)的工作原理，概述了幾種典型接口電路。
　　(2)推導(dǎo)了電

2、壓噪聲和相位噪聲之間的關(guān)系，建立了加速度計(jì)電學(xué)等效模型以實(shí)現(xiàn)接口電路的阻抗匹配。分析了全溫過程中加速度計(jì)零位輸出突變的原因，對(duì)相關(guān)驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行優(yōu)化并進(jìn)行溫度補(bǔ)償，改善了加速度計(jì)全溫性能。
　　(3)簡(jiǎn)述了鎖相環(huán)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成，分析了幾種典型環(huán)路濾波器對(duì)系統(tǒng)的影響，優(yōu)化了環(huán)路濾波器設(shè)計(jì)。分析了驅(qū)動(dòng)幅度與諧振頻率之間的關(guān)系，通過優(yōu)化驅(qū)動(dòng)電路相關(guān)部分設(shè)定最佳驅(qū)動(dòng)幅度。
　　(4)優(yōu)化了驅(qū)動(dòng)電路的PCB設(shè)計(jì)，改善了信號(hào)傳輸方式，并對(duì)