硅微諧振式加速度計驅(qū)動電路優(yōu)化技術(shù)研究.pdf

1、硅微諧振式加速度計具有精度高、體積小、頻率輸出等突出優(yōu)點，在軍事領(lǐng)域和民事領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本文以提高硅微諧振式加速度計的整體性能為目標(biāo)，對硅微諧振式加速度計的驅(qū)動電路進行優(yōu)化設(shè)計，提高了硅微諧振式加速度計的實用性和可靠性。
　　論文的主要研究工作以下:
　　(1)介紹了硅微諧振式加速度計的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，并簡述了幾種常用的驅(qū)動方式。分析了硅微諧振式加速度計的工作原理，概述了幾種典型接口電路。
　　(2)推導(dǎo)了電

2、壓噪聲和相位噪聲之間的關(guān)系，建立了加速度計電學(xué)等效模型以實現(xiàn)接口電路的阻抗匹配。分析了全溫過程中加速度計零位輸出突變的原因，對相關(guān)驅(qū)動電路進行優(yōu)化并進行溫度補償，改善了加速度計全溫性能。
　　(3)簡述了鎖相環(huán)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成，分析了幾種典型環(huán)路濾波器對系統(tǒng)的影響，優(yōu)化了環(huán)路濾波器設(shè)計。分析了驅(qū)動幅度與諧振頻率之間的關(guān)系，通過優(yōu)化驅(qū)動電路相關(guān)部分設(shè)定最佳驅(qū)動幅度。
　　(4)優(yōu)化了驅(qū)動電路的PCB設(shè)計，改善了信號傳輸方式，并對