高g值微硅加速度計(jì)的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文高g值微硅加速度計(jì)的研制姓名：王強(qiáng)申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：茅盤松2001.3.1東南人學(xué)壩lj學(xué)【芷論史AbstractMicromechanicalpiezoresistivehigh—gaccelerometerbasedonlheMEMStechnologyisakindofveryimportantaccelerometerBycombinedwiththeICcompatibl

2、etechnologythesensorchipcallbemadetogetherwithitsinterfacecircuitonasinglesiliconsubstrateAsiliconmicro—mechanicalpiezoresistivehigh—gaccolerometerisstudiedwithitsworkprincipleanddesignandfabricationindetailsint11isdisse

3、rtationInthispaperanintroductionofmicroaccelerometersisperformedatfirstAndaprospectofmicroaccelerometersisconcludedThispapergivesoutpressuritivehigh—gaccelerometerAnditsprincipleisintroducedinchapter2Inchapter3and4thedes

4、ignandfabricationofmicromechanicalpiezoresistivehi曲一gaccelerometeraregiveilAseriesofexperimentsandsimulationweredoneSomepivotaltechnicaldifficultieswerebeensolvedandthepropertechnicalprocesswasgivenFinallysampleshavenotb

5、eenobtainedyet，butwhichshowsthatthissiliconpiezoresistivehigh‘gaccelerometerisfeasibleThispaperalsogivesouttheresultsoftheparameters’measurementsKeywords：MicromechanicalMicroelectronicsPiezoresistivehigh—gAccelerometerlI

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