高動(dòng)態(tài)范圍閉環(huán)微加速度計(jì)接口ASIC電路設(shè)計(jì).pdf

1、閉環(huán)電容式微加速度計(jì)憑借其高靈敏度、高動(dòng)態(tài)范圍、低功耗、體積小等優(yōu)點(diǎn)，成為了慣性器件研究的熱點(diǎn)。隨著微加速度計(jì)在商用、民用、軍用等各個(gè)方面的廣泛普及，對(duì)于其性能的要求也越來越高。
　　對(duì)于閉環(huán)微加速度計(jì)來說，其性能指標(biāo)主要取決于接口電路。因此，設(shè)計(jì)高性能的接口電路，是提高閉環(huán)微加速度計(jì)的動(dòng)態(tài)范圍的重要途徑。
　　閉環(huán)微加速度計(jì)的噪聲以及量程大小決定了加速度計(jì)的動(dòng)態(tài)范圍。本文在研究了閉環(huán)微加速度計(jì)工作原理、接口電路結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上

2、，詳細(xì)分析了微加速度計(jì)各部分噪聲，其中前級(jí)運(yùn)算放大器噪聲和參考電壓噪聲對(duì)整體噪聲影響顯著，是主要的噪聲源。
　　利用HP35670A動(dòng)態(tài)分析儀測(cè)試微加速度計(jì)噪聲，接口電路分別搭載618所翹板式結(jié)構(gòu)和北京大學(xué)叉指式結(jié)構(gòu)，噪聲測(cè)試結(jié)果為搭載618所翹板式結(jié)構(gòu)時(shí)，加速度計(jì)的系統(tǒng)實(shí)測(cè)噪聲密度為10μV/ Hz；搭載北京大學(xué)叉指式結(jié)構(gòu)時(shí)，加速度計(jì)系統(tǒng)實(shí)測(cè)噪聲密度為8μV/ Hz。
　　在分析與測(cè)試結(jié)果基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)低噪聲前級(jí)運(yùn)算放大器，