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文檔簡(jiǎn)介
1、該文在第一章首先簡(jiǎn)要介紹了MEMS技術(shù)及其在各領(lǐng)域的應(yīng)用和硅微加速度傳感器（特別是高g值微硅加速度傳感器）的發(fā)展情況,并提出了該課題設(shè)計(jì)的主要任務(wù).第二章對(duì)壓阻效應(yīng)的基本原理作了理論上分析和推導(dǎo),描述了各種加速度傳感器的工作原理和特點(diǎn),分別介紹了國(guó)外和該課題設(shè)計(jì)的壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)形式.接下來(lái)建立了相應(yīng)結(jié)構(gòu)力學(xué)模型,推導(dǎo)了傳感器的結(jié)構(gòu)性能參數(shù)并對(duì)其進(jìn)行計(jì)算機(jī)計(jì)算驗(yàn)證和優(yōu)化.另外,還對(duì)電橋電阻進(jìn)行了設(shè)計(jì).第三章根據(jù)壓阻式加速度傳感器
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