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1、大過(guò)載加速度計(jì)廣泛應(yīng)用在汽車碰撞、石油鉆探、導(dǎo)彈引信中。論文選用大過(guò)載壓阻式加速度傳感器為研究對(duì)象,主要技術(shù)指標(biāo)為量程為10,0000g,抗過(guò)載15,0000g,封裝前體積≤2mm×2mm×1.5mm。首先建立力學(xué)模型,并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行應(yīng)力分析和固有頻率分析,完成了結(jié)構(gòu)參數(shù)的確定,并從散熱、輸出一致性方面對(duì)壓阻形狀選用、壓阻阻值設(shè)計(jì)進(jìn)行了說(shuō)明。在此基礎(chǔ)上,運(yùn)用ANASYS有限元分析軟件對(duì)該加速度結(jié)構(gòu)進(jìn)行了模態(tài)仿真、10,0000g和15
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