介觀壓阻型硅鍺加速度計(jì)的仿真與設(shè)計(jì).pdf

1、本文研究了基于Si1-xGex/Si超晶格半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)的“介觀壓阻效應(yīng)”的壓阻式加速度傳感器。在“介觀壓阻效應(yīng)”理論的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了Si1-xGex/Si/Si1-xGex雙勢(shì)壘共振隧穿納米薄膜結(jié)構(gòu)；運(yùn)用MATLAB軟件對(duì)不同尺寸的加速度計(jì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真與設(shè)計(jì)；并采用ANSYS有限元分析軟件對(duì)設(shè)計(jì)出的加速度計(jì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真。 本文設(shè)計(jì)了雙懸臂梁結(jié)構(gòu)的微加速度計(jì)，運(yùn)用有限元軟件ANSYS對(duì)該加速度傳感器結(jié)構(gòu)進(jìn)行了靜態(tài)仿真、模態(tài)仿

2、真和諧響應(yīng)分析。分析了不同參數(shù)對(duì)加速度計(jì)的影響。并對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，以滿足對(duì)器件穩(wěn)定性和量程的要求。最后通過選擇合適的參數(shù)，設(shè)計(jì)出了量程是1g的敏感結(jié)構(gòu)。 本文還對(duì)共振隧穿異質(zhì)結(jié)和加速度計(jì)進(jìn)行了靜態(tài)特性仿真。得出了基于Si1-xGex/Si/Si1-xGex量子阱薄膜結(jié)構(gòu)的最大靜態(tài)壓阻靈敏度比基于硅的靜態(tài)壓阻靈敏度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)的結(jié)論，而且加速度計(jì)結(jié)構(gòu)靈敏度比采用硅薄膜時(shí)要高的多。 本文研究創(chuàng)新點(diǎn)主要體現(xiàn)在：突破了傳