2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、微機(jī)械加速度計(jì)具有體積小、壽命長(zhǎng)、功耗低和易于批量生產(chǎn)的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈中段制導(dǎo)、靈巧炸彈和各種相對(duì)低精度的商用場(chǎng)合。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和軍事、商業(yè)市場(chǎng)的需求,尤其是作為微慣性測(cè)量單元(MIMU)重要組成部分,高精度三軸單片集成微加速度計(jì)成為目前研究的熱點(diǎn)。 本文采用微機(jī)電集成設(shè)計(jì)方法完成了一種三軸全差分電容式微加速度計(jì)的設(shè)計(jì),并結(jié)合自行設(shè)計(jì)的接口檢測(cè)電路進(jìn)行了初步測(cè)試。論文主要的研究?jī)?nèi)容如下: 1.建立了線加速

2、度計(jì)和擺式加速度計(jì)的數(shù)學(xué)模型,以最大檢測(cè)靈敏度為優(yōu)化目標(biāo)設(shè)計(jì)了微加速度計(jì)的敏感電容結(jié)構(gòu)和彈性連接結(jié)構(gòu),并對(duì)結(jié)構(gòu)的滑膜阻尼和壓膜阻尼進(jìn)行了分析。 2.采用微機(jī)電集成設(shè)計(jì)方法建立了三軸微加速度計(jì)的系統(tǒng)級(jí)模型,進(jìn)行了頻域和時(shí)域的仿真;建立了三軸微加速度計(jì)的實(shí)體模型,進(jìn)行了靜力分析和模態(tài)分析;設(shè)計(jì)了工藝版圖和工藝流程。 3.研究了多種小電容檢測(cè)電路,設(shè)計(jì)了基于電荷放大器原理的開關(guān)相敏解調(diào)檢測(cè)方案,通過實(shí)驗(yàn)測(cè)試,有效地檢測(cè)出小電容

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