X射線能譜精確定量技術的研究.pdf

1、配備X射線能譜儀的掃描電鏡和電子探針已廣泛的應用于分析領域，是最為主要的微區(qū)成分分析的工具。提高能譜儀的定量分析質量，進而促進相關領域的科學研究和工農業(yè)生產的發(fā)展，意義重大。 本論文對能譜儀的結構、INCA能譜定量分析系統(tǒng)、定性、定量分析和能譜儀的應用等方面進行了敘述，對三種典型試樣——玻璃、不銹鋼、低碳鋼，定量分析時的脈沖處理時間、束斑直徑、加速電壓、活時間等測量條件進行了深入研究。 不銹鋼中除Fe外，主要合金元素有C

2、r和Ni，同時還含有少量的Mn、P、S、Mo、V、Ti等，定量分析的難度主要體現(xiàn)在對低含量元素的分析上。通過依次改變測試條件，分析定量結果，獲得了不銹鋼樣品的最佳測試條件：處理時間5，束斑直徑5，加速電壓20kV，活時間100s。 在電子束照射下玻璃中的K、Na離子會發(fā)生遷移現(xiàn)象，對可遷移組分的研究是玻璃試樣準確定量的關鍵。通過實驗和對結果分析，獲得了玻璃試樣的最佳測試條件：處理時間5，束斑直徑5，加速電壓18kV，活時間75s