氧化鉺高K薄膜材料的結(jié)構(gòu)與電學(xué)性能研究.pdf

1、微電子工業(yè)迅速發(fā)展，半導(dǎo)體器件的特征尺寸按摩爾定律不斷縮小。SiO2作為MOSFET的柵介質(zhì)材料已不能滿足技術(shù)發(fā)展的要求。因此，需要尋找新型高K介質(zhì)材料，能夠在保持和增大柵極電容的同時(shí)，使介質(zhì)層仍保持足夠的物理厚度來(lái)限制隧穿效應(yīng)的影響。氧化鉺（Er2O3）由于其比較高的介電常數(shù)，較大的禁帶寬度和良好的熱穩(wěn)定性，成為下一代MOS柵介質(zhì)強(qiáng)有力的競(jìng)爭(zhēng)者。因此，本文選擇氧化鉺作為COMS柵介質(zhì)材料，旨在制備和研究具有良好結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的高K柵介

2、質(zhì)材料。論文主要研究的內(nèi)容有： 1研究Er2O3的制備技術(shù)和最佳工藝條件。采用射頻反應(yīng)磁控濺射法，以高純Er（99．99%）為靶材，以氬氣為濺射氣體，氧氣為反應(yīng)氣體，制備氧化鉺薄膜。 2．采用電子能譜，掃描電鏡（SEM）和XRD分析薄膜的成分，組織形貌和晶體結(jié)構(gòu)。重點(diǎn)研究分析工作氣體中Ar與O2的流量和退火溫度對(duì)薄膜晶體結(jié)構(gòu)和組織形貌的影響。結(jié)果表明：在室溫下沉積的Er2O3薄膜是非晶態(tài)，600℃以上退火后，薄膜由非晶轉(zhuǎn)

3、變?yōu)槎嗑В捎^察到較強(qiáng)的Er2O3的（222）、（400）和（440）特征峰，薄膜都表現(xiàn)出（222）方向的擇優(yōu)生長(zhǎng)，同時(shí)氬氧比的增加有利于提高氧化鉺薄膜的生長(zhǎng)速率。 3．采用吸收光譜和橢圓偏振光譜，研究分析了氧化鉺薄膜的光學(xué)性能。結(jié)果表明：Er2O3薄膜的折射率n隨波長(zhǎng)的增加急劇下降；在350-700nm的可見(jiàn)光波段，折射率隨波長(zhǎng)的增加緩慢減小，而在700-1000nm的紅外波段，折射率基本保持常數(shù)。總體來(lái)看隨著反應(yīng)氣體中Ar氣

4、比例的增加，折射率增大。在波長(zhǎng)550nm處對(duì)應(yīng)的折射率最大值為1．81。Er2O3薄膜的消光系數(shù)k在250-350nm的紫外波段，k隨波長(zhǎng)的增加急劇減小；在350～1000nm的可見(jiàn)及紅外波段內(nèi)接近于0，表明在此波段Er2O3薄膜的透光性很好。同時(shí)透射光譜表明：Er2O3薄膜在300～800nm范圍內(nèi)的透射率大于90%，禁帶寬度Eg大于5．5eV。 4．研究分析了氧化鉺薄膜的電學(xué)性能。在不同工藝條件下，制備了Er/Er2O3/E

5、r（MIM）和Er/Er2O3/Si（MOS）結(jié)構(gòu)，通過(guò)測(cè)試I-V特性曲線，C-V特性曲線，C-f特性曲線，分析了氬氧比和退火溫度對(duì)氧化鉺薄膜的介電常數(shù)、漏電流密度、擊穿場(chǎng)強(qiáng)等電學(xué)性能與制備工藝條件的關(guān)系。結(jié)果表明：Ar：O2對(duì)介電常數(shù)有一定的影響，隨著Ar：O2比的增加介電常數(shù)增加，未退火的樣品，氬氧比為4：1，5：1，6：1，7：1的樣品的介電常數(shù)分別為7．1，7．7，9．3，10．5。退火熱處理使Er2O3薄膜的介電常數(shù)和擊穿場(chǎng)強(qiáng)