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1、在目前的半導(dǎo)體機器制造產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體加工機器的模擬仿真系統(tǒng)是用靜止的圖片來組成的,這種狀態(tài)表示的方法產(chǎn)生的模擬效果在視覺上很生硬,跳躍性很大。因為它無法表示出晶圓從一個位置到下一個位置的中間過程,而且基本上忽視了機器人的動作。為了克服這一缺點,需要用連貫的動畫來進行模擬仿真。
首先分析了半導(dǎo)體加工控制流程的基本特點,探討了在其模擬仿真系統(tǒng)中運用三維動畫的必要性和可行性。根據(jù)工業(yè)控制軟件結(jié)構(gòu)的特點,我們利用面向?qū)ο蟮脑O(shè)計方法
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