化學(xué)沉積稀土Fe-B合金薄膜工藝與組織性能的研究.pdf

1、本文研究了化學(xué)沉積稀土Fe-B合金薄膜的制備工藝、組織結(jié)構(gòu)和磁學(xué)性能。 采用正交試驗(yàn)法設(shè)計(jì)并確定了化學(xué)沉積Fe-B-RE合金的前處理工藝和最佳配方，制備出試樣，考察了合金薄膜的微觀形貌和組織結(jié)構(gòu)，測(cè)定了鍍液的電化學(xué)特性、薄膜的磁學(xué)性能。在化學(xué)沉積Fe-B合金薄膜中添加稀土鑭和鈰，探討它們對(duì)合金薄膜的沉積工藝、微觀形貌、組織結(jié)構(gòu)和磁學(xué)性能的作用機(jī)理和影響方式，以期獲得綜合性能優(yōu)異的化學(xué)沉積Fe-B-RE半硬磁性合金薄膜。

2、結(jié)果表明：與基體的前處理中無(wú)敏化活化相比，對(duì)基體沉積前采用敏化活化前處理得到的薄膜與基體的結(jié)合力強(qiáng)，薄膜起皮現(xiàn)象少；稀土鑭大幅度提高了薄膜的沉積速度，稀土鈰增加了薄膜的光亮性，很大程度地提高了薄膜表面質(zhì)量；不管基體是否敏化活化，鑭和鈰均提高了鍍液的穩(wěn)定性。鍍液中添加稀土后，改善了陰極極化能力，降低了薄膜沉積生長(zhǎng)的形核功，增大了形核率，使薄膜組織均勻致密。Fe-B合金薄膜以晶態(tài)生長(zhǎng)方式沉積。合金薄膜的矯頑力大，飽和磁化強(qiáng)度、磁導(dǎo)率適中，剩