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文檔簡介
1、在利用干涉儀對光學元件進行高精度面形檢測時,需要對標準具進行多維調整,現(xiàn)有的調整架多為手動調整,效率比較低,并且分辨力低。針對這一問題,本文設計出一款高分辨力、穩(wěn)定性好的電動五維調整架。文章中對調整架的功能進行了詳細分析,通過對驅動系統(tǒng)、微調結構等其他子系統(tǒng)進行計算與選型,初步確定了調整架的設計方案。論文中應用有限元分析軟件ANSYS對利用CATIA建立的三維模型進行了仿真分析,針對一些關鍵受力結構進行靜力學分析及優(yōu)化。另外對調整架的模
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