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文檔簡介
1、在利用干涉儀對光學元件進行高精度面形檢測時，需要對被測光學元件進行位置調整。現(xiàn)有的調整架多為手動調整，這樣不僅操作麻煩，而且由于操作人員的運動對調整架的檢測結果造成很大的影響，效率比較低。針對這一問題，設計出一套高分辨力、穩(wěn)定性好的電動二維調整架。
文中對調整架的功能進行了詳細的分析，通過對關鍵器件的選型，確定調整架的設計方案。文中著重對角度調整機構進行了設計，角度調整機構通過采用步進電機驅動、蝸輪蝸桿減速、滾動螺旋三級細分實
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