銦鎵砷表面形貌相變動態(tài)化過程的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、分類號：O793TN301.1密級：公開論文編號：2006080503貴州大學2009屆碩士研究生學位論文銦鎵砷表面形貌相變動態(tài)化過程的研究學科專業(yè)：微電子學與固體電子學研究方向：半導體物理與半導體器件物理導師：丁召研究生：黃旭中國?貴州?貴陽2009年5月貴州大學研究生學位論文第第第四四四章章章掃掃掃描描描隧隧隧道道道顯顯顯微微微鏡鏡鏡194.1掃描隧道顯微鏡原理及組成.............................194.

2、2掃描隧道顯微鏡調試.................................204.2.1低溫掃描隧道顯微鏡（LTSTM）的結構特點..............214.2.2儀器的安裝及樣品和探針的裝入......................224.2.3LTSTM的烘烤...............................224.2.4LTSTM的掃描成像調試..........................2

3、34.2.5LTSTM探針的清洗.............................244.3STM探針電極腐蝕裝置...............................254.3.1探針電化學腐蝕原理.............................254.3.2自制STM探針電化學腐蝕裝置及實驗方法................254.3.3實驗研究及結果分析.........................

4、....274.3.4結論......................................29第第第五五五章章章表表表面面面形形形貌貌貌的的的相相相變變變過過過程程程315.1GaAs和InGaAs表面重構..............................315.1.1GaAs(001)的表面重構............................315.1.2基于GaAs(001)的表面重構相變的襯底溫度校準

5、.............345.1.3InGaAs表面重構...............................355.2表面形貌的相變模型.................................375.2.1有序－無序轉變、艾辛模型和格氣模型...................385.2.2RSOS模型..................................395.2.3粗糙化與預粗糙化.......

6、.......................405.3實驗方案及分析....................................415.3.1樣品清洗...................................425.3.2樣品脫氧化..................................425.3.3樣品生長及退火................................445.3.4實驗結果

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