LED用砷化鎵拋光片表面狀態(tài)研究.pdf

1、砷化鎵(GaAs)材料是目前生產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣泛，因而也是最重要的化合物半導(dǎo)體材料，是僅次于硅的最重要的半導(dǎo)體材料。由于其優(yōu)越的性能和能帶結(jié)構(gòu)，使砷化鎵材料在微波器件和發(fā)光器件等方面具有很大發(fā)展?jié)摿ΑＤ壳吧榛壊牧系南冗M(jìn)生產(chǎn)技術(shù)仍掌握在日本、德國(guó)以及美國(guó)的國(guó)際大公司手中，與國(guó)外公司相比國(guó)內(nèi)企業(yè)在砷化鎵材料生產(chǎn)技術(shù)方面還有較大差距。發(fā)光二極管(LED)是砷化鎵材料的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一，在國(guó)際半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展方興未艾之際，研究LED用砷化

2、鎵材料生產(chǎn)的相關(guān)技術(shù)無(wú)疑具有重要意義。
　　 本論文詳細(xì)介紹了砷化鎵材料的物理化學(xué)性質(zhì)及其制造方法，在此基礎(chǔ)上專門探討了針對(duì)LED應(yīng)用的砷化鎵拋光片的制備方法以及相關(guān)的技術(shù)問(wèn)題，采用金相顯微鏡、X光電子能譜、二次離子質(zhì)譜以及PL譜等多種測(cè)試手段對(duì)砷化鎵拋光片加工各個(gè)階段的質(zhì)量情況進(jìn)行分析，從而為改進(jìn)加工工藝、提高產(chǎn)品質(zhì)量提供了重要的參考。
　　 通過(guò)改進(jìn)線切割技術(shù)改善了砷化鎵拋光片的翹曲度，通過(guò)拋光和清洗技術(shù)的改進(jìn)提高了