建立與XPS-AES相連的陰極研究裝置.pdf

1、為了解決電子發(fā)射體(陰極)研究方法中存在的問題,并尋求一種適當的、方便的陰極研究實驗方法,該論文論證了建立與AES相連的PLD裝置的必要性和可行性,并實際建立了這一裝置,實現(xiàn)了陰極的原位沉積、原位分析.電子發(fā)射現(xiàn)象是在電子發(fā)射體表面發(fā)生的物理過程,發(fā)射表面是由活性元素構成的動態(tài)平衡系統(tǒng),這一系統(tǒng)直接決定電子發(fā)射性能.表面分析手段對陰極研究是必不可少的.PLD是制備薄膜的最好方法之一,PLD制備薄膜具有膜成分容易做到與靶成分一致,沉積條件

2、容易控制、沉積速率高、實驗周期短、應用范圍大的特點.PLD適合少樣品、多批次、薄膜質量要求高的陰極研究.俄歇能譜儀是重要的表面分析手段,具有很多優(yōu)點,適合于陰極研究,國產的四倍頻YAG激光器價格低、性能穩(wěn)定、能輸出綠光和紫光,光束聚焦后能達到鍍膜要求.與準分子激光器進行了比較,YAG激光器有高的性價比.通過對AES進樣室的改造,實現(xiàn)了AES與PLD的相連,也就實現(xiàn)了陰極薄膜的原位制備、原位分析.實際建立的系統(tǒng)包括激光器、外光路系統(tǒng)、真空