基于MEMS技術的TiNi（Cu）-Si復合膜動態(tài)驅(qū)動特性的優(yōu)化.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MEMS技術是面向21世紀一門新興技術,而微驅(qū)動器是其核心部件.與其它微驅(qū)動方式相比,以TiNi基為代表的形狀記憶合金(SMA)薄膜因其做功密度高、可恢復應變大、輸出應力大、驅(qū)動電壓低、生物相容性好等顯著優(yōu)點,而成為微驅(qū)動器中最具應用潛力的驅(qū)動方式之一,并可望在醫(yī)學、生物、化工、集成光學等方面得到廣泛的應用.但是,由于SMA薄膜通常利用熱相變作為驅(qū)動源,這大大限制了SMA薄膜微驅(qū)動器的頻響特性,這也是制約其廣泛應用的瓶頸.對此,該文圍繞

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