新型寬量程真空計的研制.pdf

1、真空計是一種真空測量儀器，它在科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中應用廣泛。論文第一部分講述了真空計的發(fā)展現(xiàn)狀，并對真空計的分類和發(fā)展趨勢進行了介紹。第二部分詳細地講述了電阻真空計和熱陰極電離真空計的測量原理和工作電路，并由此提出了一種新型寬量程真空計的設計方案。在當前測量寬范圍真空環(huán)境的場合，國內(nèi)外常用儀器是“模塊復合”真空計和“規(guī)管復合”真空計。“模塊復合”真空計是指每只規(guī)管的電路部分都制作成一個模塊，然后將這些模塊組合在一起，成為一臺多規(guī)真空計。

2、這種真空計的應用在只能使用單一規(guī)管測量的場合受到了限制?！耙?guī)管復合”是指將幾只測量范圍不同的規(guī)管制作在一個管殼內(nèi)，在測量不同的真空度時選用相應測量范圍的規(guī)管，如同使用一只單一規(guī)管。但是這種真空規(guī)管制造工藝復雜，價格昂貴，且不同的規(guī)管燈絲會相互產(chǎn)生干擾，影響測量精度。不同于上面提到的兩種復合式真空計，我們設計的新型寬量程真空計是在一個ZJ-2型的標準電離規(guī)管上實現(xiàn)電阻和熱陰極電離兩種不同的測量方式，從而實現(xiàn)了從1.0×1.05Pa～1.0