安徽省真空計量站建設(shè)與寬量真空計研制.pdf

1、真空計量器具廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工和科學(xué)實驗領(lǐng)域，其種類繁多，樣式各異。由于使用中的真空計大多數(shù)都是間接測量真空度的，因此需要對這些真空計進(jìn)行校準(zhǔn)，以檢定其是否能準(zhǔn)確顯示。安徽省真空計量站的建立不僅可以滿足學(xué)校自身科學(xué)研究的需求，還可以為鄰近的華東、華中真空相關(guān)企業(yè)提供良好的服務(wù)平臺。本文主要介紹安徽省真空計量站建設(shè)的前期準(zhǔn)備工作，內(nèi)容包括計量站儀器更新、系統(tǒng)搭建、系統(tǒng)預(yù)抽、系統(tǒng)檢漏、真空室烘烤等。通過電容薄膜規(guī)比對實驗、副標(biāo)準(zhǔn)真空計比對實

2、驗和靜態(tài)膨脹法實驗，在104～10-4Pa范圍內(nèi)對待校準(zhǔn)真空計進(jìn)行了寬量程校準(zhǔn)，從而從硬件構(gòu)建和軟件調(diào)試兩方面保證系統(tǒng)具備真空校準(zhǔn)檢定能力。
　　 真空傳感器都有測量上、下限，而實際應(yīng)用中可能需要從大氣壓一直測到高真空，因此，寬量程真空計一直是研究開發(fā)的熱點。本文研制了一種采用熱偶規(guī)和電離規(guī)復(fù)合形式的寬量程真空計，低真空、高真空信號分別由熱偶規(guī)、電離規(guī)采集，真空規(guī)及其量程切換由電控處理系統(tǒng)自動完成，可測真空范圍為105～10-5