真空計(jì)算公式

1、真空計(jì)算公式真空計(jì)算公式1、玻義爾定律、玻義爾定律體積V，壓強(qiáng)P，PV＝常數(shù)一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1P2＝V2V12、蓋、蓋呂薩克定律呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：V1V2＝T1T2＝常數(shù)當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1273。3、查理定律、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其

2、絕對溫度T成正比，即：P1P2＝T1T2在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1273。4、平均自由程：、平均自由程：λ＝(5103)P(cm)5、抽速：、抽速：S＝dvdt(升秒)或S＝QPQ＝流量(托升秒)P＝壓強(qiáng)(托)V＝體積(升)t＝時(shí)間(秒)6、通導(dǎo)：、通導(dǎo)：C＝Q(P2P1)(升秒)7、真空抽氣時(shí)間：、真空抽氣時(shí)間：對于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t＝8VS(經(jīng)驗(yàn)公式)V為體

3、積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。8、維持泵選擇：、維持泵選擇：S維＝S前109、擴(kuò)散泵抽速估算：、擴(kuò)散泵抽速估算：S＝3D2(D＝直徑cm）1010、羅茨泵的前級(jí)抽速：、羅茨泵的前級(jí)抽速：S＝(0.1~0.2)S羅(ls)1111、漏率：、漏率：Q漏＝V(P2P1)(t2t1)Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHgls)V－系統(tǒng)容積(l)P1－真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2－真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t－壓強(qiáng)從P1

4、升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)1212、粗抽泵的抽速選擇：、粗抽泵的抽速選擇：S＝Q1P預(yù)(ls)S=2.3Vlg(PaP預(yù))tS－機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1－真空系統(tǒng)漏氣率(托升秒)P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V－真空系統(tǒng)容積(升)t－達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa－大氣壓值(托）1313、前級(jí)泵抽速選擇：、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的

5、前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。二、根據(jù)系

6、統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我廠網(wǎng)頁真空計(jì)算公式。選用真空泵時(shí)，需要注意的事項(xiàng)選用真空泵時(shí)，需要注意的事項(xiàng)選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一

7、個(gè)數(shù)量級(jí)。2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5104~5106mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1105mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真

8、空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該

9、選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果