一種雙光柵干涉位移傳感器的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代制造朝著高精密方向發(fā)展，滿足一般實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)條件下的低成本、方便實(shí)用的高精密位移計(jì)量測(cè)試手段和測(cè)量傳感器面臨緊迫的需求。
　　 本文研究一種基于雙光柵干涉原理位移傳感器。由于衍射干涉的采用，該傳感器具有大量程、高分辨率與高精度，同時(shí)由于是雙光柵干涉，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，具有良好的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力，因而適合一般實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)條件下高精密位移測(cè)量需要。
　　 本文對(duì)雙光柵干涉進(jìn)行了深入研究，導(dǎo)出了雙光柵干涉位移測(cè)量的基

2、本原理，在此基礎(chǔ)上，完成了雙光柵干涉位移傳感器系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)和信號(hào)處理電路設(shè)計(jì)，并構(gòu)建了系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)裝置，該裝置由半導(dǎo)體激光器、雙光柵干涉單元、位移導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、干涉條紋光電接收與信號(hào)處理電路、計(jì)數(shù)細(xì)分與位移數(shù)顯單元等，其設(shè)計(jì)測(cè)量范圍達(dá)15mm，分辨力達(dá)0.01μm。論文對(duì)影響系統(tǒng)精度特性的主要因素，包括機(jī)械、光學(xué)、電氣因素進(jìn)行了分析。
　　 最后，利用建構(gòu)的實(shí)驗(yàn)裝置，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了測(cè)試實(shí)驗(yàn)。初步實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示系統(tǒng)易于實(shí)現(xiàn)良好