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文檔簡介
1、該文第一部分介紹有關的基本概念與原理及相應的實驗技術,如波導的線光學理論,反射計算算法(RCM),棱鏡耦合法,盧瑟福背散射/溝道測量,波導損耗的測量方法等.第二部分以質(zhì)子交換鈮酸鋰與鉭酸鋰波導的性質(zhì)做了一些研究.用盧瑟福背散射/溝道技術分析了質(zhì)子交換鈮酸鋰波導的晶格畸變,首次得出了鈮原子的位移分布,發(fā)現(xiàn)在X切樣品中的鈮原子的位移程度大于Z切樣品,X切樣品的位移分布較均勻,對樣品退火后,晶格畸變減小.用棱鏡耦合法測量了鉭酸鋰波導,發(fā)現(xiàn)在波
2、導中存在干涉現(xiàn)象,用光纖掃描法測量波導損耗為0.7dB/cm,用盧瑟福背散射/溝道技術分析了晶格畸變.第三部分介紹了H離子注入和Ni離子鈮酸鋰形成光學位壘型波導的研究.用RCM方法擬合了鈮酸鋰波導的折射率分布,研究了退火對折射率發(fā)布的影響,并用盧瑟福背散射/溝道技術測量了波導區(qū)的損傷.發(fā)現(xiàn)在較高劑量(9×10<'14>ions/cm<'2>)的Ni離子入的波導層,晶格有較大的損傷.第四部分介紹了低劑量重離子注入鈮酸鋰形成折射率增高型波導
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