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文檔簡介
1、本文提出一種適用于測量薄片材料復(fù)介電常數(shù)的改進(jìn)TE<,01p>諧振腔法.此方法將待測樣品從短路活塞處抬高,即在待測薄片樣品下面墊上已知復(fù)介電常數(shù)材料,以提高測量系統(tǒng)的靈敏度;如有必要也可以在待測薄片樣品的上面壓上一塊已知復(fù)介電常數(shù)材料,提高樣品材料的平整度,以減少空氣隙帶來的誤差.文章推導(dǎo)了TE<,01p>腔測量多層介質(zhì)的理論計(jì)算公式,只要知道墊片和壓塊介質(zhì)材料的復(fù)介電常數(shù),通過實(shí)驗(yàn)測量和軟件計(jì)算,就可以求得中間待測薄片的復(fù)介電常數(shù).運(yùn)
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