多通道快速光譜測試系統(tǒng)及其應(yīng)用.pdf

1、本論文在進行大量市場調(diào)查后,介紹了多通道光譜測試技術(shù)的發(fā)展、現(xiàn)狀和趨勢,利用凹面平場光柵色散成像原理和多通道傳感器NMOS的高靈敏快速探測,研制了一套多通道快速光譜測試系統(tǒng),它包括光學(xué)系統(tǒng)、電子電路系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)三大部分.最后推薦介紹了該系統(tǒng)在各種光色度測試中的應(yīng)用.本論文課題的光學(xué)系統(tǒng)采用雙入射狹縫、凹面平場光柵和陣列1024像元NMOS探測器構(gòu)成,電路系統(tǒng)由NMOS驅(qū)動器、高速脈沖產(chǎn)生器、高速A/D芯片(2M,16位)和高性能單片機

2、組成,而軟件系統(tǒng)也很直觀簡便,軟件對系統(tǒng)采用3次多項式的波長定標(biāo)和逐個像元糾正的靈敏度定標(biāo)方式,相同的光譜測試界面和多種多樣的參數(shù)顯示界面,滿足不用應(yīng)用的要求.本系統(tǒng)儀器外形小巧(<0.5m×0.2m×0.3m),但能實現(xiàn)ms量級的測試速度、190nm-900nm的光譜測量范圍、<0.2nm的測量精度,10<'5>的動態(tài)范圍等的性能要求.它的性能決定了它可以有很多的應(yīng)用領(lǐng)域和場合.論文第一章主要說明了光譜測試儀器的發(fā)展、現(xiàn)狀、趨勢和可應(yīng)