表面貼裝石英晶振黑色Al-,2-O-,3-陶瓷基座材料及其制備工藝研究.pdf

1、石英晶體振蕩器因具有很高的頻率穩(wěn)定度而被廣泛應(yīng)用于通信、廣播、雷達、導(dǎo)航及許多測量儀器。隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和電子整機的小型化、高性能的發(fā)展趨勢,石英晶振的市場需求量還將快速增長。傳統(tǒng)的晶振已不能滿足要求,開始向表面貼裝型和輕、薄、小方向發(fā)展,并且陶瓷封裝逐漸取代了傳統(tǒng)的裸金屬外殼覆塑料金屬封裝。需要大批量、低成本地生產(chǎn)體積小且具有遮光特性的陶瓷封裝基座。 本文選取Fe2O3、Cr2O3、CoO三種過渡金屬氧化物為主要原料

2、,采用濕法工藝研制了Fe-Cr-Co系黑色色料,通過對色料呈色機理和各項色差值的綜合分析,確定了最佳的色料配方,并討論了煅燒溫度和色料粒度對黑色色料呈色的影響。 在對黑色色料制備和性能研究的基礎(chǔ)上,采用流延法制備了黑色氧化鋁陶瓷基板。研究了基板材料配方、燒結(jié)工藝、收縮率以及不同添加物含量對基板呈色和致密性的影響,確定了最佳的黑色氧化鋁陶瓷配方,制定了合理的流延工藝參數(shù)。結(jié)果表明：當黑色色料含量為11％、助熔劑含量為15％,在11

3、50℃低溫燒結(jié)的基板呈現(xiàn)均勻的黑色,其體積密度值達到3.652 g/cm3、體積電阻率達到1012 Ω·cm以上、介電常數(shù)達到14;當粘結(jié)劑含量為5％時,陶瓷基板中產(chǎn)生氣孔、開裂等缺陷少,顯氣孔率達到4.8％；通過調(diào)整流延漿料配方和生坯密度可以有效控制基板的收縮率。 通過對流延基板裁剪沖孔、絲網(wǎng)印刷電路和熱合燒結(jié),成功制備了外形尺寸為：8.5mm×5.0mm×0.65±0.05mm的黑色Al2O3陶瓷封裝基座。研究了基座的熱合工